ICP-MS全稱是電感耦合等離子體-質(zhì)譜法(Inductively coupled plasma-Mass  Spectrometry)它是一種將ICP技術和質(zhì)譜結合在一起的分析儀器，它能同時測定幾十種痕量無機元素，可進行同位素分析、單元素和多元素分析，以及有機物中金屬元素的形態(tài)分析。

1、原理

（1）在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，ICP利用在電感線圈上施加強大功率的高頻射頻信號在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，被分析樣品由蠕動泵送入霧化器形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體焰炬中心區(qū)，發(fā)生蒸發(fā)、分解、激發(fā)和電離。高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。

（2）通過ICP-MS的接口將等離子體中的離子有效傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀；

（3）質(zhì)譜是一個質(zhì)量篩選和分析器，通過選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。

2、結構

（1）電感耦合等離子體：樣品引入系統(tǒng)；離子源

（2）接口：采樣錐；截取錐

（3）質(zhì)譜：離子透鏡系統(tǒng)；四級桿離子過濾器；檢測器

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